Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Komponenten

2018

Conference Paper

Author(s)

Helke, Christian

Seifert, Mario

Seiler, Jan

Meinig, Marco

Wecker, Julia

Mainwork

14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018

Conference

Fachtagung Mikrosystemtechnik 2018