Title

14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018

Title Supplement
Chemnitz, 23./24. Oktober 2018
Person Involved
Corporate Author
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Publisher
Publishing Place
Chemnitz
Publication Date
2018
ISBN
978-3-00-060648-9
Conference