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Konferenzschrift
MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
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2017
Conference Paper
Title
MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
Author(s)
Berner, T.
Schulze, R.
Shaporin, Alexey
Forke, Roman
Otto, Thomas
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2017. Proceedings
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2017
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
