Title

MikroSystemTechnik Kongress 2017. Proceedings

Title Supplement

MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23.-25. Oktober 2017 in München

Corporate Author

Verband Deutscher Elektrotechniker e.V. -VDE-, Berlin

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2017

ISBN

978-3-8007-4491-6

3-8007-4491-0

Conference