ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT

CMUTs (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers) haben viele Vorteile gegenüber klassischen Piezzo-basierten Ultraschallwandlern. Besonders die Möglichkeit, miniaturisierte Arrays aus einer Vielzahl von einzelnen Wandlern aufzubauen, macht ihren Einsatz für medizinische Anwendungen und für nicht destruktive Testapplikationen interessant. Dieses Paper stellt einen ASIC vor, der speziell für die Verwendung mit CMUT-Sensoren entwickelt wurde und auf eine Anwendung in einem Sensor-Array vorbereitet ist. Sowohl die Hochvoltansteuerung des Sensors, als auch die Verstärkung der aus dem Empfang von Ultraschallwellen resultierenden Ströme sind dabei im Schaltkreis vereint.