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Konferenzschrift
Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Inertialsystemen
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2014
Conference Paper
Title
Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Inertialsystemen
Author(s)
Meinecke, Christoph Robert
Bertz, Andreas
Dittrich, C.
Schunke, S.
Kreutziger, P.
Geßner, Thomas
Mainwork
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS