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Title
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM
Title Supplement
21./22. Oktober 2014, Chemnitz
Corporate Author
TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Publisher
Publishing Place
Chemnitz
Publication Date
2014
ISBN
978-3-00-047625-9