2014
Poster
Title

Comparison of patterning silicon and silicon carbide using focused ion beam

Title Supplement
Poster presented at IBMM 2014, 19th International Conference on Ion Beam Modification Materials, Leuven, Belgium, September 14-19, 2014
Author(s)
Veerapandian, S.K.P.
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Beuer, Susanne  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Stumpf, Florian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Thomas, Keith
Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology
Pillatsch, L.
Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology
Michler, Johannes
Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Project(s)
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English
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