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Konferenzschrift
Untersuchung der Mikro- und Nanorauhigkeit von Oberflächen mittels Streulichtmessung
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2003
Conference Paper
Title
Untersuchung der Mikro- und Nanorauhigkeit von Oberflächen mittels Streulichtmessung
Author(s)
Duparre, A.
Mainwork
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik
Conference
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) 2003
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
