Title

Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik

Title Supplement

Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003

Corporate Author

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf

Publisher

Publishing Place

Düsseldorf

Publication Date

2003

Series

VDI-Berichte; 1669

ISBN

3-18-091669-9

Conference