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Fraunhofer-Gesellschaft
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Title

Verfahren zum Schutz eines vakuumtechnisch bearbeiteten Substrates und Verwendung des Verfahrens

Date Issued
2002
Author(s)
Moosheimer, U.
Langowski, H.
Patent No
1999-19935181
Language
Deutsch
Institute
IVV
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19935181A
Patenprio
DE 1999-19935181 A: 19990727
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