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Fraunhofer-Gesellschaft
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2015
Conference Paper
Title

MEMS Spiegel für die Hochleistungs-Lasermaterialbearbeitung

Abstract
Dieses Paper berichtet über neuartige MEMS-Scanner für die Lasermaterialbearbeitung. Durch Beschichtung mit einer hoch reflektierenden dielektrischen Verspiegelung können im CW-Betrieb Laserleistungen bis zu 600 Watt dauerhaft übertragen werden, ohne den MEMS-Scanner zu zerstören. Um die erforderliche Ebenheit des resonant betriebenen Spiegels auch unter starken thermischen und mechanischen Belastungen sicherzustellen, ist eine steife 0,7 mm dicke Spiegelplatte notwendig. Durch Vakuumverkapselung wird die Dämpfung der bis zu 20 mm großen Spiegel minimiert und gleichzeitig optimale Dynamik erzielt.
Author(s)
Senger, F.
Herwig, P.
Gawlitzka, P.
Ortega-Delgado, M.A.
Wantoch, T. von
Mallas, C.
Wetzig, A.
Hofmann, U.
Mainwork
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM  
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2015  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS  
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