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Title
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM
Title Supplement
MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Person Involved
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2015
ISBN
978-3-8007-4100-7
Conference