Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren

In diesem Beitrag stellen wir die Mikro-Nano-Integration eines opto-chemischen Sensors zur Detektion oxidierender und reduzierender Gase basierend auf III-N-Nanodrahtheterostrukturen vor. Der Optikdesignansatz zur effizienten Formung der Anregungsstrahlung wird ebenso wie die hochpräzise Fertigung der miniaturisierten Integrationsplattform erläutert. Nach Charakterisierung des optischen Mikrosystems, werden die elektro-optischen Komponenten und die Nanodrahtheterostrukturen integriert, um den Sensor hinsichtlich seiner Gasdetektionseigenschaften zu untersuchen.