Title

MikroSystemTechnik Kongress 2013. CD-ROM

Title Supplement

Von Bauelementen zu Systemen; 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2013

ISBN

978-3-8007-3555-6

3-8007-3555-5

Conference