Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM

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  • Patent
    Method for characterizing movable micro-mirror for projector used in e.g. digital camera, involves determining function parameters of micro-mirror by evaluating device, based on detected portions of test image of micro-mirror
    ( 2011)
    Specht, H.
    ;
    Kurth, S.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Fiess, R.
    ;
    Krayl, O.
    ;
    Krueger, M.
    ;
    Wiest, G.
    ;
    Hilberath, T.
    The method involves generating the steerable and modulatable light beams (220) by a light beam generating unit (200). The test images (240) of a movable micro-mirror (210) are generated by deflecting the movable micro-mirror and by modulating the light beams directed towards the micro-mirror. The upper edge, lower edge, right edge and left edge of test image are detected by a surface sensor (250). The function parameters such as mechanical parameters and image quality parameters of micro-mirror are determined by an evaluating device (260), based on detected portions of test image. Independent claims are included for the following: (1) device for characterizing movable micro-mirror; and (2) computer program for characterizing movable micro-mirror.
  • Patent
    Vorrichtung und Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche
    ( 2008)
    Otto, T.
    ;
    Schüller, M.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Morschhauser, A.
    (B3) Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche, in einem Kanal mit einer Kanalwand, die die vorbestimmte Flaeche umfasst und einer Einrichtung zum Aufbau einer Druckdifferenz in dem Kanal, so dass die Fluessigkeit in einer ersten Richtung ueber die vorbestimmte Flaeche bewegt wird, bis zu einem vorbestimmten Zeitpunkt, um die aufgebaute Druckdifferenz an dem vorbestimmten Zeitpunkt zu reduzieren. Der Kanal ist dabei so ausgebildet, dass sich bei Bewegung der Fluessigkeit in der ersten Richtung eine der Druckdifferenz entgegengerichtete Gegendruckdifferenz aufbaut, die die Fluessigkeit in eine zweite, der ersten Richtung entgegengesetzte Richtung ueber die vorbestimmte Flaeche bewegt. Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche in einem Kanal, mit einer Kanalwand, die die vorbestimmte Flaeche aufweist.
  • Patent
    Mikropumpe und Verfahren zum Pumpen eines Fluids
    ( 2008)
    Otto, T.
    ;
    Schüller, M.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Baum, M.
    ;
    Morschhauser, A.
    (A1) Eine Mikropumpe weist eine Membran auf, die sich ueber einen Querschnitt eines Fluidkanals erstreckt und eine fluidische Komponente mit einer Durchgangsoeffnung durch die Membran aufweist, wobei die fluidische Komponente derart ausgebildet ist, dass ein Stroemungswiderstand durch die fluidische Komponente bei einer Auslenkung der Membran in einer ersten Richtung groesser ist, als ein Stroemungswiderstand durch die fluidische Komponente bei einer Auslenkung der Membran in eine zweite Richtung, so dass eine Hin- und Herauslenkung der Membran einen Nettofluidfluss durch die fluidische Komponente in die erste Richtung hervorruft. Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Pumpen eines Fluids mittels derselben Mikropumpe.
  • Patent
    Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen sowie magnetischer Aktor mit einer derartigen Membran
    ( 2007)
    Otto, T.
    ;
    Morschhauser, A.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Voigt, S.
    (A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere fuer Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fliessfaehigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt veraendert, um eine Anhaeufung der Partikel an einer oder mehreren Stellen der Schicht zu erhalten. Die Schicht wird anschliessend mit den angehaeuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermoeglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.
  • Patent
    Mikromechanische Schaltervorrichtung mit mechanischer Kraftverstärkung
    ( 2007)
    Frömel, J.
    ;
    Voigt, S.
    ;
    Kurth, S.
    ;
    Leidich, S.
    ;
    Bertz, A.
    ;
    Kaufmann, C.
    ;
    Gessner, T.
    (A1) Es wird eine mikromechanische Schaltervorrichtung zum Schalten einer auf einem Substrat vorgesehenen unterbrochenen HF-Signalleitung mit einem Schalterteil und einem das Schalterteil verschliessenden Deckel vorgeschlagen, wobei das Schalterteil mindestens einen ohmschen Schaltkontakt zum Ueberbruecken und Trennen der HF-Signalleitung und einen mindestens eine feststehende und eine bewegliche Elektrode aufweisenden elektrostatischen Antrieb zum Betaetigen des Schaltkontakts umfasst. Zwischen elektrostatischem Antrieb und Schaltkontakt ist eine Vorrichtung zur mechanischen Kraftverstaerkung geschaltet. Dabei kann die Vorrichtung zur Kraftverstaerkung als Hebelanordnung und/oder als elastisches Element mit progressiver Wirkung ausgebildet sein.
  • Patent
    Verfahren und Vorrichtung zum Abformen von Strukturen
    ( 2007)
    Otto, T.
    ;
    Froemel, J.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Abformen von Strukturen, bei denen ein Substrat auf einem Substrattraeger positioniert wird, der ein oder mehrere integrierte Kanaele zum Ansaugen des Substrates mittels Unterdruck aufweist. Zwischen dem Substrattraeger und dem Substrat wird beim vorliegenden Verfahren eine Zwischenplatte eingesetzt, die nach dem Praegevorgang vom Substrat getrennt wird, indem der Substrattraeger und ein Werkzeugtraeger, von dem das Praegewerkzeug bei diesem Schritt gehalten wird, auseinander bewegt werden. Die Zwischenplatte wird anschliessend vom Substrattraeger entfernt und das Substrat durch entgegen gesetzte Bewegung von Substrattraeger und/oder Werkzeugtraeger mit dem Substrattraeger in Kontakt gebracht und durch Ansaugen gehalten. Im naechsten Schritt wird das Substrat vom Praegewerkzeug getrennt, indem der Substrattraeger und der Werkzeugtraeger, von dem das Praegewerkzeug gehalten wird, auseinander bewegt werden. Das vorliegende Verfahren und die zugehoerige Vorrichtung ermoeglichen ein schnelles und automatisierbares Wechseln des Substrates sowie ein automatisiertes Trennen des Substrates vom Praegewerkzeug.
  • Patent
    Substrat mit einer Kupfer enthaltenden Beschichtung und Verfahren zu deren Herstellung mittels Atomic Layer Deposition
    ( 2007)
    Gessner, T.
    ;
    Schulz, S.
    ;
    Wächtler, T.
    ;
    Lang, H.
    ;
    Jakob, A.
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substrats mit einer Beschichtung aus Kupfer bzw. einer Kupfer enthaltenden Beschichtung mittels Atomlagenabscheidung (ALD). Hierfür wird als Kupfer-Precursor ein Fluor-freier Kupfer (I)-Komplex der Formel $I1 eingesetzt, bei dem L ein sigma-Donor-pi-Akzeptor oder ein sigma,pi-Donor-pi-Akzeptor Ligand ist und bei dem $I2 ein zweizähniger Ligand ist, nämlich ein beta-Diketonat, ein beta-Ketoiminat, ein beta-Diiminat, ein Amidinat, ein Carboxylat oder ein Thiocarboxylat.
  • Patent
    Schalteranordnung zur Ansteuerung einer Antennenanordnung mit einzelnen Antennenelementen mit einer Mehrzahl von matrixförmig angeordneten Schaltern und Verfahren zum Schalten von matrixförmig angeordneten Schaltern
    ( 2006)
    Kurth, S.
    ;
    Frömel, J.
    ;
    Voigt, S.
    ;
    Leidich, S.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Shaporin, A.
    ;
    Dötzel, W.
    ;
    Gessner, T.
    (B3) Es wird eine Schaltungsanordnung mit einer Mehrzahl von in Reihen und Spalten angeordneten Schaltern vorgeschlagen, die jeweils mindestens einen federnd vorgespannten beweglichen Kontakt und mindestens einen Festkontakt aufweisen und denen eine Spulenanordnung zugeordnet ist, wobei abhängig von einem über die Spulenanordnung erzeugten Magnetfeld der jeweilige Schalter betätigbar ist. Jeder Reihe von Schaltern (20) ist mindestens eine Spule (2) in einer ersten Ebene mit elektrischen Ansteueranschlüssen (16) und jeder Spalte von Schaltern (20) mindestens eine Spule (1) in einer zweiten Ebene mit elektrischen Ansteueranschlüssen (17) zugeordnet, wobei die zum Betätigen eines in einem Knotenpunkt (13) einer Reihe und einer Spalte liegenden Schalters benötigte Magnetkraft durch gleichsinniges Bestromen der Anschlüsse der jeweiligen Reihe und der jeweiligen Spalte und Addition der Magnetfelder der ersten und zweiten Spule (1, 2) des jeweiligen Schalters (20) erzeugbar ist.
  • Patent
    MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
    ( 2006)
    Kurth, S.
    ;
    Tenholte, D.
    ;
    Hiller, K.
    ;
    Kaufmann, C.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Dötzel, W.
    (B3) Die Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Druckmessung, welches ein Substrat und mindestens ein Massenelement aufweist, das beabstandet zum Substrat angeordnet und schwingungsfähig mit dem Substrat und/oder einem relativ zum Substrat unbeweglichen Trägerkörper verbunden ist, so dass zwischen dem Massenelement und dem Substrat ein Spalt besteht, dessen Breite durch Schwingungen des Massenelements variierbar ist. In der den Spalt begrenzenden Fläche des Substrats befindet sich mindestens eine Vertiefung und/oder mindestens eine Durchführung, die zur Reduktion der Dämpfung der Schwingung des Massenelements durch das das Massenelement umgebende Gas oder Plasma dient. Das Sensorelement findet inbesondere Anwendung in Drucksensoren zur Messung von Drücken im Vakuumbereich. Durch die Verwendung des erfindungsgemässen Sensorelements als Druckaufnehmer lassen sich maximale Drücke bis in den Bereich des atmosphärischen Luftdrucks erfassen. Die tiefsten zu bestimmenden Drücke liegen im Bereich von 10-6 mbar.
  • Patent
    Mikrofluidische Vorrichtung fuer die optische Analyse
    ( 2005)
    Otto, T.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Baum, M.
    ;
    Gessner, T.
    Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikrofluidische Vorrichtung zur optischen Analyse, die sich aus ein oder mehreren planaren Substraten aus einem Substratmaterial zusammensetzt und bei der in zumindest einem der Substrate zumindest ein Fluidkanal oder Fluidreservoir ausgebildet ist. In die ein oder mehreren Substrate ist eine optische Komponente zur Aufspaltung, spektralen Zerlegung oder Filterung von sich planar in den Substraten ausbreitender optischer Strahlung integriert, die zumindest teilweise durch ein Material oder Fluid mit einem vom umgebenden Substratmaterial verschiedenen Brechungsindex gebildet ist. Mit der vorliegenden Analyseeinheit ist es nicht mehr erforderlich, fuer unterschiedliche Anwendungen eine externe Wellenlaengenselektierung vorzunehmen.