MEMS mit angepasstem Halbleiter-Verhalten

Ein MEMS umfasst ein bewegliches Element und eine Antriebseinrichtung umfassend eine erste dotierte Halbleiterelektrode des beweglichen Elements und eine zweite dotierte Halbleiterelektrode, die der ersten Halbleiterelektrode gegenüberliegend angeordnet ist und ausgebildet ist, um unter Erzeugung einer ersten Veränderungszone von Ladungsträgern in der ersten Halbleiterelektrode und einer zweiten Veränderungszone von Ladungsträgern in der zweiten Halbleiterelektrode zu erzeugen