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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Halbleiter-Bauelementstruktur mit Verbindungshalbleiter und Verfahren zum Herstellen derselbigen

Other Title
Semiconductor device structure with compound semiconductor and method of manufacturing the same
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Halbleiter-Bauelementstruktur (100), aufweisend ein Substrat (10) mit einer auf einer ersten Substratseite (1) gelegenen ersten Hauptoberfläche (11) und einer auf einer gegenüberliegenden zweiten Substratseite (2) gelegenen zweiten Hauptoberfläche (12), sowie eine vertikale Durchkontaktierung (13), die sich zwischen der ersten Hauptoberfläche (11) und der zweiten Hauptoberfläche (12) vollständig durch das Substrat (10) hindurch erstreckt. Auf der ersten Substratseite (1) ist im Bereich der Durchkontaktierung (13) eine Metallisierungsschicht (31) angeordnet, die galvanisch mit der Durchkontaktierung (13) verbunden ist. Auf der Metallisierungsschicht (31) ist eine mit der Metallisierungsschicht (31) galvanisch verbundene Verbindungshalbleiter-Schicht (21) angeordnet. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen einer derartigen Halbleiter-Bauelementstruktur (100).
Inventor(s)
Klumpp, Armin  
Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Link to:
Espacenet
Patent Number
DE102019211465 A1
Publication Date
February 4, 2021
Language
German
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
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