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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

System und Verfahren zum Prüfen von Oberflächendefekten auf einem Prüfobjekt

Other Title
System and method for inspecting surface defects on a test object
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein System (1) zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüfkörpers (3), wobei das System aufweist: Eine erste Quelle (4) und eine zweite Quelle (5), wobei die erste Quelle und die zweite Quelle derart ausgestaltet sind, dass die erste Quelle in einem Betrieb des Systems eine erste elektromagnetische Strahlung in einem ersten Wellenlängenbereich und die zweite in einem zweiten Wellenlängenbereich abstrahlt, wobei die erste und die zweite Quelle derart angeordnet sind, dass sie aus einer ersten und aus einer zweiten Beleuchtungsrichtung beleuchten (7, 8), und wobei die erste und die zweite Beleuchtungsrichtung voneinander verschieden sind, eine erste Kamera (12) zum Erfassen eines ersten Bildes des Prüfkörpers aus einer ersten Beobachtungsrichtung (13) und eine Auswerteeinrichtung (15), wobei die Auswerteeinrichtung derart wirksam mit der ersten Kamera verbunden ist, dass sie einen das von der ersten Kamera erfasste erste Bild beschreibenden ersten Bilddatensatz erhält. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Auswerteeinrichtung derart eingerichtet ist, dass sie aus einem Datenmodel (16) des Prüfkörpers einen ersten Referenzbilddatensatz simuliert, der eine Beleuchtung des Prüfkörpers aus der ersten Beleuchtungsrichtung und eine Beleuchtung des Prüfkörpers aus der zweiten Beleuchtungsrichtung und eine Bilderfassung aus der ersten Beobachtungsrichtung berücksichtigt, und ein erstes Fehlersignal aus einem Vergleich zwischen dem ersten Bilddatensatz und dem ersten Referenzbilddatensatz erzeugt.
Inventor(s)
Basler, Carl  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Regina, David Joel  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Rademacher, Christian  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Link to:
Espacenet
Patent Number
EP4443141 A1
Publication Date
October 9, 2024
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
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