Verfahren zur Vermessung oder Inspektion spiegelnder Oberflächen mittels Deflektometrie

Bei einem Verfahren zur Vermessung oder Inspektion spiegelnder Oberflächen mittels Deflektometrie werden die bei der Deflektometrie eingesetzten optischen Muster vorab automatisch in Abhängigkeit von der Soll-Geometrie der zu vermessenden Oberfläche berechnet und bei der Berechnung mit einer Kostenfunktion auf zu bestimmende Merkmale der Oberfläche optimiert. Die Berechnung erfolgt dabei vorzugsweise unter Einsatz eines differenzierbaren Raytracing-Verfahrens. Mit dem vorgeschlagenen Verfahren lassen sich vor allem komplexere Oberflächengeometrien mit hoher Genauigkeit inspizieren und/oder vermessen.