System und Verfahren zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüfobjekts

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Lumineszenzscanner als System zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüfobjekts, bei dem eine Ablenkeinrichtung sowohl einer Ablenkung der von einer Strahlungsquelle erzeugten Anregungsstrahlung auf die Oberfläche des Prüfobjekts als auch einer Ablenkung einer von der Oberfläche abgestrahlten erste Lumineszenzstrahlung mit einer ersten Lumineszenzwellenlänge auf den Detektor dient. Eine für die Anregungsstrahlung transparente Schutzplatte dient dem Schutz zumindest der Ablenkeinrichtung oder der Strahlungsquelle gegenüber Umgebungseinflüssen. Erfindungsgemäß weist das System weiterhin einen Kanaltrenner auf, wobei entweder der Kanaltrenner derart ausgestaltet ist, dass der Kanaltrenner in dem Betrieb des Systems verhindert, dass eine in einer auf einer Oberfläche der Schutzplatte angeordneten Substanz oder in dem Material der Schutzplatte generierte zweite Lumineszenzstrahlung mit einer zweiten Lumineszenzwellenlänge auf den Detektor trifft, oder der Kanaltrenner derart eingerichtet ist, dass der Kanaltrenner in dem Betrieb des Systems die zweite Lumineszenzstrahlung von der ersten Lumineszenzstrahlung unterscheidbar macht.