MEMS-Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements

Ein Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements umfasst ein Bereitstellen eines Halbleitersubstrats, ein Ausführen eines anisotropen nasschemischen Ätzprozesses in dem Halbleitersubstrat, um zumindest ein bewegliches Element aus dem Halbleitersubstrat herauszubilden, und ein Erzeugen eines Schichtstapels, so dass das bewegliche Element in einer Kavität und in einer ersten MEMS-Schicht zwischen einer zweiten MEMS-Schicht und einer dritten MEMS-Schicht angeordnet ist, um mit einem in der Kavität angeordneten Fluid zu interagieren.