Verfahren und Vorrichtung zum Ausbilden einer Struktur an einem Werkstück mittels Bearbeitungsstrahlung

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausbilden einer Struktur an einem Werkstück mittels Bearbeitungsstrahlung, mit einer Transportvorrichtung zum Bewegen des Werkstücks entlang einer bevorzugt geradlinigen Bewegungsbahn, einer Strahlungsquelle zum Erzeugen einer Bearbeitungsstrahlung, einer Hauptablenkeinheit für die Bearbeitungsstrahlung, welche im Strahlengang der Bearbeitungsstrahlung angeordnet ist, und mit einer Positionsmesseinheit, zur Messung einer Position des Werkstücks auf der Transportvorrichtung vor und/oder während der Bearbeitung mittels der Bearbeitungsstrahlung. Wesentlich ist, dass die Vorrichtung eine Geschwindigkeitsmesseinheit zur Messung der Bewegungsgeschwindigkeit des Werkstücks während der Bearbeitung mittels der Bearbeitungsstrahlung aufweist, dass die Vorrichtung zusätzlich zu der Hauptablenkeinheit eine Korrekturablenkeinheit für die Bearbeitungsstrahlung aufweist, welche im Strahlengang der Bearbeitungsstrahlung angeordnet ist und die Vorrichtung eine Steuereinheit aufweist, welche mit der Hauptablenkeinheit und der Korrekturablenkeinheit verbunden und ausgebildet ist, die Hauptablenkeinheit zu steuern, um die Bearbeitungsstrahlung auf einen Bearbeitungspunkt des Werkstücks während des Transports des Werkstücks mittels der Transportvorrichtung abzulenken und die Korrekturablenkeinheit zu steuern, um abhängig von den Messdaten der Geschwindigkeitsmesseinheit die Ablenkung der Bearbeitungsstrahlung mittels der Korrekturablenkeinheit zu korrigieren.