MEMS mit synchronen beweglichen Elementen

Ein MEMS umfasst ein Substrat mit einer in dem Substrat angeordneten Kavität und einer Mehrzahl von in der Kavität angeordneten beweglichen Elemente, die ausgebildet sind, um mit einem in der Kavität angeordneten Fluid zu interagieren, wobei eine Bewegung des Fluids durch eine Bewegung der beweglichen Elemente kausal zusammenhängen. Die Mehrzahl von beweglichen Elementen ist elektrisch aktiv gebildet und elektrisch parallel zueinander über einen jeweiligen elektrischen Leitungspfad mit einer gemeinsamen Signalreferenz verschaltet. Das MEMS ist ausgebildet, um Laufzeitunterschiede zwischen der gemeinsamen Signalreferenz einerseits und den Leitungspfaden unterschiedlicher beweglicher Elemente andererseits aneinander anzugleichen, um durch ein an der Signalreferenz bereitgestelltes elektrisches Signal Bewegungen der beweglichen Elemente zu synchronisieren und/oder um von den beweglichen Elementen durch die Bewegung erzeugte elektrische Signale am Ort der Signalreferenz zu synchronisieren.