MEMS mit geringer parasitärer Kapazität und Verfahren zum Herstellen desselben

Ein MEMS-Bauelement umfasst einen Schichtstapel mit einer Mehrzahl von MEMS-Schichten, die entlang einer Schichtfolgenrichtung angeordnet sind. Das MEMS-Bauelement umfasst ein in einer ersten MEMS-Schicht gebildetes bewegliches Element, das zwischen einer zweiten MEMS-Schicht und einer dritten MEMS-Schicht des Schichtstapels angeordnet ist. Eine Antriebseinrichtung umfasst eine mit der zweiten MEMS-Schicht mechanisch fest verbundene Antriebsstruktur und ist ausgebildet, um in einem Arbeitsbereich des MEMS-Bauelements eine Kraft zum Auslenken des beweglichen Elements zu erzeugen. In einem Peripheriebereich, der den Arbeitsbereich zumindest teilweise umschließt und der zumindest einen Teil einer elektrischen Kontaktierung der Antriebseinrichtungen aufweist und in welchem die erste MEMS-Schicht mit der zweiten MEMS-Schicht mechanisch verbunden ist, ist eine Kapazitätsreduzierung angeordnet, die ausgebildet ist, um eine parasitäre Kapazität in dem Peripheriebereich verglichen mit dem Arbeitsbereich zu reduzieren.