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Patent
Title
Verfahren zur optischen Überwachung und/oder Bestimmung von Eigenschaften an Proben
Other Title
Method for optical monitoring and / or determination of properties of samples
Abstract
Bei dem Verfahren zur optischen Überwachung und/oder Bestimmung von Eigenschaften an Proben wird von mehreren Strahlungsquellen (1) monochromatische elektromagnetische Strahlung mit vorgegebener Wellenlänge λisequentiell von einer elektronischen Auswerteinheit beeinflusst auf eine Probe (2) gerichtet. Die jeweilige für die Wellenlänge λispezifische Intensität der von der Probe gestreuten und/oder reflektierten elektromagnetischen Strahlung wird mit mindestens einem Detektor (3) erfasst und für eine spektralaufgelöste Auswertung der elektronischen Auswerteeinheit zugeführt, um damit eine Überwachung und/oder Bestimmung von Eigenschaften der jeweiligen Probe (2) durchzuführen.
Inventor(s)
Throl, Oliver
Patent Number
DE102021206879 A1
Publication Date
January 5, 2023
Language
German