System und Verfahren zur Inspektion zumindest einer Geometrie oder einer Oberfläche eines Objekts

Die vorliegende Erfindung betrifft ein System zur Inspektion zumindest einer Geometrie oder einer Oberfläche eines Objekts mit einer Triangulationseinrichtung, wobei die Triangulationseinrichtung eine Strahlungsquelle, eine Zeilenoptik, einen Triangulationsdetektor und eine Auswerteeinrichtung aufweist, wobei die Strahlungsquelle derart eingerichtet ist, dass sie in einem Betrieb des Systems elektromagnetische Strahlung erzeugt und abstrahlt, wobei die Zeilenoptik derart eingerichtet und angeordnet ist, dass sie in dem Betrieb des Systems die von der Strahlungsquelle abgestrahlte elektromagnetische Strahlung zumindest derart formt oder ablenkt, dass die elektromagnetische Strahlung das Objekt beleuchtet und auf dem Objekt eine Linie ausbildet, wobei die Zeilenoptik und der Triangulationsdetektor derart angeordnet und eingerichtet sind, dass sie einen Basisabstand zueinander aufweisen und der Triangulationsdetektor ein Bild der Linie auf dem Objekt erfasst, wobei die Auswerteeinrichtung derart wirksam mit dem Triangulationssensor verbunden ist, dass die Auswerteeinrichtung in dem Betrieb des Systems ein das Bild repräsentierendes Signal von dem Triangulationsdetektor empfängt und wobei die Auswerteeinrichtung derart eingerichtet ist, dass sie in dem Betrieb des Systems aus einer Verzerrung des Bildes und dem Basisabstand ein erstes Maß zumindest für die Geometrie oder die Oberfläche des Objekts berechnet. Dabei weist das erfindungsgemäße System eine Laufzeitmesseinrichtung auf, wobei die Laufzeitmesseinrichtung die Strahlungsquelle, die Zeilenoptik, die Auswerteeinrichtung, einen Laufzeitdetektor und eine Modulationseinrichtung umfasst, wobei die Zeilenoptik und der Laufzeitdetektor derart angeordnet und eingerichtet sind, dass in dem Betrieb des Systems das Objekt an einer Mehrzahl von Punkten auf der Linie nacheinander beleuchtet wird und die von dem Objekt reflektierte elektromagnetische Strahlung von dem Laufzeitdetektor erfasst wird, wobei die Modulationseinrichtung derart eingerichtet ist, dass in dem Betrieb des Systems eine Amplitude der elektromagnetischen Strahlung moduliert ist, wobei die Auswerteeinrichtung derart wirksam mit dem Laufzeitdetektor verbunden ist, dass die Auswerteeinrichtung in dem Betrieb des Systems ein Laufzeitsignal empfängt und wobei die Auswerteeinrichtung derart eingerichtet ist, dass sie in dem Betrieb des Systems aus dem Laufzeitsignal jeweils eine Laufzeit der elektromagnetischen Strahlung von einem Referenzpunkt des Systems zu dem Objekt für eine Mehrzahl von Punkten auf der Linie berechnet und aus den Laufzeiten für die Mehrzahl von Punkten ein zweites Maß zumindest für die Geometrie oder die Oberfläche des Objekts berechnet und zumindest das erste oder das zweite Maß ausgibt.