Verfahren zum laserbasierten Materialabtrag mit definiertem Kantenwinkel

Bei einem Verfahren zum Materialabtrag mit wenigstens einem Laserstrahl, insbesondere zum Laserstrahl-Bohren oder Laserstrahl-Schneiden, wird der wenigstens eine Laserstrahl auf ein zu bearbeitendes Werkstück fokussiert und der Einfallswinkel des Laserstrahls auf das Werkstück über eine Einrichtung zur Variation des Einfallswinkels eingestellt oder variiert. Die Einstellung oder Variation des Einfallswinkels erfolgt dabei durch zwei sequentiell angeordnete räumliche Lichtmodulatoren, über die der Laserstrahl geführt wird. Das Verfahren ermöglicht sowohl die Erzeugung senkrechter als auch definiert positiv oder negativ konischer Wandwinkel und lässt sich flexibel für beliebige laserbasierte Mikrostrukturierungsprozesse einsetzen.