System und Verfahren zum Charakterisieren der Rauheit einer Oberfläche eines Prüflings

Die vorliegende Erfindung betrifft ein System zum Charakterisieren einer Rauheit einer Oberfläche eines Prüflings aufweisend: eine Strahlungsquelle, wobei die Strahlungsquelle derart eingerichtet ist, dass die Strahlungsquelle in einem Betrieb des Systems eine kohärente erste elektromagnetische Strahlung mit einer ersten Wellenlänge und eine kohärente zweite elektromagnetische Strahlung mit einer zweiten Wellenlänge erzeugt und abstrahlt, und wobei die erste Wellenlänge von der zweiten Wellenlänge verschieden ist, eine Beleuchtungsoptik, wobei die Beleuchtungsoptik derart ausgestaltet und angeordnet ist, dass die Beleuchtungsoptik in dem Betrieb des Systems mit der ersten elektromagnetischen Strahlung eine Beleuchtungsfläche beleuchtet und mit der zweiten elektromagnetischen Strahlung dieselbe Beleuchtungsfläche beleuchtet und dass in dem Betrieb des Systems die Oberfläche des Prüflings in der Beleuchtungsfläche anordenbar ist, eine Erfassungsoptik, einen bilderzeugenden Detektor, wobei die Erfassungsoptik und der Detektor derart ausgestaltet und angeordnet sind, dass die Erfassungsoptik in dem Betrieb ein an der Oberfläche des Prüflings in der Beleuchtungsfläche von der ersten elektromagnetischen Strahlung erzeugtes erstes Specklemuster und ein an der Oberfläche des Prüflings in der Beleuchtungsfläche von der zweiten elektromagnetischen Strahlung erzeugtes zweites Specklemuster auf den Detektor abbildet, und eine Auswerteeinrichtung, wobei die Auswerteeinrichtung derart mit dem Detektor verbunden ist, dass die Auswerteeinrichtung in dem Betrieb des Systems ein das erste Specklemuster repräsentierendes erstes Bildsignal und ein das zweite Specklemuster repräsentierendes zweites Bildsignal von dem Detektor erhält, und wobei die Auswerteeinrichtung derart eingerichtet ist, dass die Auswerteeinrichtung in dem Betrieb des Systems ein Maß für eine Ähnlichkeit zwischen dem ersten Bildsignal und dem zweiten Bildsignal bestimmt, wobei das Maß für die Ähnlichkeit die Rauheit der Oberfläche charakterisiert. Dabei weist erfindungsgemäß der Detektor eine Sensorfläche in genau einer Sensorebene auf und die Erfassungsoptik ist derart ausgestaltet, dass die Erfassungsoptik das erste Specklemuster auf eine erste Teilfläche der Sensorfläche (21) und das zweite Specklemuster auf eine zweite Teilfläche der Sensorfläche abbildet, wobei die erste und die zweite Teilfläche voneinander verschieden sind.