Verfahren und System zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüflings

Die vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen einer Oberfläche eines Prüflings, wobei das Verfahren umfasst Erkennen eines Partikels auf der Oberfläche mit den Schritten Beleuchten der Oberfläche und des Partikels mit elektromagnetischer Anregungsstrahlung mit einer Anregungswellenlänge, Erfassen einer ortsaufgelösten Lumineszenzleistung einer von dem Prüfling abgestrahlten Lumineszenzstrahlung mit einer von der Anregungswellenlänge verschiedenen Lumineszenzwellenlänge und Erzeugen eines Lumineszenzbilds aus der ortsaufgelösten Lumineszenzleistung, wobei der Prüfling ein Prüflingsmaterial umfasst und das Partikel ein Partikelmaterial umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüflingsmaterial bei der Anregungswellenlänge stärker luminesziert als das Partikelmaterial und das Erkennen des Partikels den Schritt umfasst Identifizieren eines Bereichs des Lumineszenzbilds als das Partikel, wenn eine Lumineszenzleistung des Bereichs kleiner ist als ein Lumineszenzleistungsschwellenwert.