Verfahren und Sensor zum photothermischen Bestimmen einer Absorption einer elektromagnetischen Anregungsstrahlung in einer Probe

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum photothermischen Bestimmen einer Absorption einer elektromagnetischen Anregungsstrahlung in einer Probe mit den Schritten A) Erzeugen der Anregungsstrahlung mit einer über einen Anregungsstrahlquerschnitt der Anregungsstrahlung variierenden Anregungsintensität und mit einer Anregungsfrequenz, wobei die Anregungsfrequenz gleich einer Absorptionsfrequenz der Probe ist, B) periodisches Modulieren der Anregungsstrahlung mit einer Modulationsfrequenz, C) Beleuchten der Probe mit der periodisch modulierten Anregungsstrahlung, D) Erzeugen einer elektromagnetischen Abfragestrahlung mit einem Abfragestrahlquerschnitt und einer Abfragefrequenz, wobei die Abfragefrequenz von der Anregungsfrequenz verschieden ist, E) Beleuchten der Probe mit der Abfragestrahlung, so dass sich ein Anregungsstrahlengang der Anregungsstrahlung und ein Abfragestrahlengang der Abfragestrahlung unter einem von Null Grad verschiedenen Winkel in einem Schnittpunkt in der Probe schneiden und so dass sich der Abfragestrahlquerschnitt über Bereiche des Anregungsstrahlquerschnitts mit voneinander verschiedener Anregungsintensität verteilt, F) Erfassen einer ersten Musterintensität eines Interferenzmusters der Abfragestrahlung in dem Abfragestrahlengang hinter der Probe an einem ersten Ort in einer Detektorebene als erstes Messsignal, G) Bilden eines Detektorsignals aus dem ersten Messsignal und H) Filtern des ersten Messsignals oder des Detektorsignals nach der Modulationsfrequenz, so dass ein Ausgabesignal erzeugt wird, wobei das Ausgabesignal mit der Modulationsfrequenz modulierte Signalanteile des ersten Messsignals enthält. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass das Verfahren weiterhin die Schritte umfasst: I) Erfassen einer zweiten Musterintensität des Interferenzmusters der Abfragestrahlung an einem zweiten Ort in der Detektorebene als zweites Messsignal, so dass die Phase einer durch das periodische Modulieren der Anregungsstrahlung bewirkten periodischen Modulation der ersten Musterintensität der Abfragestrahlung an dem ersten Ort um einen von null Grad oder 360 Grad verschiedenen Wert gegenüber der Phase der durch das periodische Modulieren der Anregungsstrahlung bewirkten periodischen Modulation der zweiten Musterintensität der Abfragestrahlung an dem zweiten Ort verschoben ist, und der Schritt G) den Schritt umfasst a) Bilden einer Differenz zwischen dem ersten Messsignal und dem zweiten Messsignal, so dass das Detektorsignal ein differenzielles Signal ist, wobei Schritt H) ein Filtern zumindest des ersten und des zweiten Messsignals oder des Detektorsignals umfasst, so dass das Ausgabesignal mit der Modulationsfrequenz modulierte Signalanteile des ersten Messsignals und des zweiten Messsignals enthält.