Vorrichtung, Verfahren und System zum Verbessern einer Höhenprofilmessung eines Objekts basierend auf einer Kombination von wenigstens zwei Sensoraufnahmen

Ausführungsbeispiele gemäß der vorliegenden Erfindung umfassen eine Vorrichtung zum Verbessern einer Höhenprofilmessung eines Objekts, mit einer Schnittstelle zum Empfangen einer Sequenz von Sensoraufnahmen für unterschiedliche Stellen auf dem Objekt bei unterschiedlichen Relativpositionen zwischen einer Lichtquelle und dem Objekt, wobei die Lichtquelle einen Lichtstrahl mit einem Intensitätsprofil aufweist, das breiter ist als ein Abstand zweier unterschiedlicher, benachbarter Relativpositionen. Ferner umfasst die Vorrichtung eine Einrichtung zum Kombinieren von wenigstens zwei Sensoraufnahmen der Sequenz von Sensoraufnahmen; wobei die Einrichtung zum Kombinieren ausgebildet ist, um eine Kombinationsaufnahme für die Stelle des Objekts zu erzeugen, auf deren Basis eine Höhe an der Stelle des Objekts bestimmbar ist, oder um aus einer Kombination der wenigstens zwei Sensoraufnahmen und einer gemeinsamen Auswertung von einzelnen Kombinationsergebnissen der Kombination der wenigstens zwei Sensoraufnahmen die Höhe des Objekts an der Stelle zu ermitteln.