Verfahren zur Strukturierung von Metallschichten durch elektrochemisches Abtragen

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung einer Metallschicht eines Bauelements durch elektrochemisches Abtragen, wobei- ein Werkstück und eine als Werkzeug fungierende segmentierte Kathode mit einem flüssigen Elektrolyten in Kontakt gebracht werden,- das Werkstück umfassend- ein Substrat mit einer Substratoberfläche,- eine auf der Substratoberfläche vorliegende zu strukturierende Metallschicht,- eine auf der zu strukturierenden Metallschicht vorliegende Maske,- die segmentierte Kathode voneinander beabstandete und separat regelbare Segmente enthält,- zwischen dem Werkstück und der segmentierten Kathode eine Relativbewegung parallel zur Substratoberfläche stattfindet.