Verfahren und Vorrichtung zur dynamischen Positionierung mehrerer Laserstrahlen auf einer Zielebene

Eine Vorrichtung zur dynamischen Positionierung mehrerer Laserstrahlen auf einer Zielebene weist wenigstens eine dynamische Ablenkeinrichtung auf, mit der die Laserstrahlen auf die Zielebene gerichtet und über jeweils einen Bereich der Zielebene geführt werden können. Die dynamische Ablenkeinrichtung weist dabei eine Anordnung aus mehreren ein- und/oder zweiachsigen Mikroscannern auf, die jeweils unabhängig voneinander ansteuerbar sind. Die Anzahl der Mikroscanner ist so gewählt und die Laserstrahlen werden in der Anordnung so geführt, dass jeder Laserstrahl über einen anderen Mikroscanner auf die Zielebene gerichtet wird. Die Vorrichtung ermöglicht die hochdynamische und voneinander unabhängige Positionierung mehrerer Laserstrahlen, insbesondere von Einzelstrahlen eines Vielstrahl-Laser-Systems, mit hoher Positioniergenauigkeit in der Zielebene, lässt sich raumsparend und kostengünstig realisieren und ist leicht skalierbar.