English
Deutsch
Log In
Log in with Fraunhofer Smartcard
Password Login
Research Outputs
Fundings & Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Towards Integrated 3D Microbatteries: Study of LiPON on Porous Electrodes
Details
Full
Export
Statistics
Options
Show all metadata (technical view)
2023
Conference Paper
Title
Towards Integrated 3D Microbatteries: Study of LiPON on Porous Electrodes
Author(s)
Cipo, Julia
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Neubieser, Rahel-Manuela
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Mörtel, Reinhard
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Lisec, Thomas
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Michel, Marvin Daniel
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Lofink, Fabian
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Gojdka, Björn
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2023
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2023
Language
English
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Keyword(s)
LiPON
atomic layer deposition (ALD)
microbattery
PowderMEMS
