March 16, 2023
Meeting Abstract
Title

Benchmarking experiment of substrate quality including SmartSiCTM wafers by epitaxy in a batch reactor

Author(s)
Kallinger, Birgit  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Hens, Philip
AIXTRON SE
Berwian, Patrick  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Kranert, Christian  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Albrecht, Kevin M.
AIXTRON SE
Erlekampf, Jürgen
AIXTRON SE
Project(s)
Trusted European SiC Value Chain for a greener Economy
Funder
Conference
DOI
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Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer Group