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Title
Vorrichtung zur Messung von Potentialen und Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung
Date Issued
2023-05-17
Author(s)
Svetlana Vitusevich
Nazarii Boichuk
Patent No
DE102021129950 A1
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Potentialen an einer biologischen, chemischen oder anderen Probe, miteinem Substrat (2) undmindestens einem auf dem Substrat (2) angeordneten Nanodraht (6) aus einem halbleitenden Material,wobei der Nanodraht (6) mit einer Beschichtungsanordnung (11) versehen ist, welche eine Grundbeschichtung (12) aus einem dielektrischen Material umfasst. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung.
Language
de