Vorrichtung zur Messung von Potentialen und Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung

Weihnacht, Volker; Svetlana Vitusevich; Nazarii Boichuk

Patent

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Potentialen an einer biologischen, chemischen oder anderen Probe, miteinem Substrat (2) undmindestens einem auf dem Substrat (2) angeordneten Nanodraht (6) aus einem halbleitenden Material,wobei der Nanodraht (6) mit einer Beschichtungsanordnung (11) versehen ist, welche eine Grundbeschichtung (12) aus einem dielektrischen Material umfasst. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung.

Inventor(s)

Weihnacht, Volker

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS

Svetlana Vitusevich

Nazarii Boichuk

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https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=en_EP&FT=D&date=20230517&CC=DE&NR=102021129950A1&KC=A1

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Vorrichtung zur Messung von Potentialen und Verfahren zur Herstellung einer solchen Vorrichtung