October 2023
Conference Paper
Title

Modeling, Manufacturing and Characterization of Electrostatic Actuators towards Electrostatic Silicon MEMS-Micropumps

Author(s)
Anheuer, Daniel  
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Leistner, Henry
George, Brinda
Roehl, Siegfried
Richter, Martin  
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Kutter, Christoph
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Mainwork
Conference
Language
English
Keyword(s)