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Konferenzschrift
Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelemente
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2019
Conference Paper
Title
Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelemente
Author(s)
Czernohorsky, Malte
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Weder, Andreas
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Mart, Clemens
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Falidas, K.
Kühnel, K.
Viegas, A.E.
Holland, H.-J.
Weinreich, W.
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2019
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2019
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
