2017
Conference Paper
Title

Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern

Author(s)
Schroedter, Richard
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Che, Xingqi
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Roth, Matthias
Technische Universität Dresden
Sandner, Thilo  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Janschek, Klaus
Technische Universität Dresden
Mainwork
Conference
Language
German