• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. Combination of direct laser writing and soft lithography molds for combined nano- and microfabrication
 
  • Details
  • Full
Options
2016
Poster
Title

Combination of direct laser writing and soft lithography molds for combined nano- and microfabrication

Title Supplement
Poster presented at EMLC 2016, 32nd European Mask and Lithography Conference, Dresden, Germany, 21-22 June 2016
Author(s)
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Kollmuss, Manuel
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Baier, Leander  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Michel, Felix
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Becker, Marco
Nanoworld Services GmbH
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Conference
European Mask and Lithography Conference 2016  
DOI
10.24406/publica-fhg-393551
File(s)
N-418901.pdf (2.64 MB)
Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • direct laser writing

  • nanoimprint

  • hierarchical structures

  • PDMS

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024