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Konferenzschrift
Imaging defect luminescence of 4H-SiC by UV-photoluminescence
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2015
Presentation
Title
Imaging defect luminescence of 4H-SiC by UV-photoluminescence
Title Supplement
Presentation held at GMM Fachgruppentreffen, 04. März 2015, Erlangen
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Author(s)
Kaminzky, Daniel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Roßhirt, Katharina
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Kallinger, Birgit
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Berwian, Patrick
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Friedrich, Jochen
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Oppel, Steffen
Intego Vision Systeme GmbH
Schneider, Adrian
Intego Vision Systeme GmbH
Schütz, Michael
Intego Vision Systeme GmbH
Project(s)
SiC-WinS
Funder
Bayerische Forschungsstiftung BFS
Conference
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Fachgruppentreffen) 2015
DOI
10.24406/publica-fhg-388240
File(s)
N-336693.pdf (764.79 KB)
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Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Keyword(s)
semiconductor
silicon carbide
defects
photoluminescence