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Fraunhofer-Gesellschaft
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  3. Konferenzschrift
  4. Imaging defect luminescence of 4H-SiC by UV-photoluminescence
 
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2015
Presentation
Title

Imaging defect luminescence of 4H-SiC by UV-photoluminescence

Title Supplement
Presentation held at GMM Fachgruppentreffen, 04. März 2015, Erlangen
Author(s)
Kaminzky, Daniel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Roßhirt, Katharina
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Kallinger, Birgit  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Berwian, Patrick  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Friedrich, Jochen  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Oppel, Steffen
Intego Vision Systeme GmbH
Schneider, Adrian
Intego Vision Systeme GmbH
Schütz, Michael
Intego Vision Systeme GmbH
Project(s)
SiC-WinS
Funder
Bayerische Forschungsstiftung BFS  
Conference
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Fachgruppentreffen) 2015  
File(s)
Download (764.79 KB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-388240
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • semiconductor

  • silicon carbide

  • defects

  • photoluminescence

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