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Fraunhofer-Gesellschaft
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  3. Konferenzschrift
  4. Defektlumineszenz in 4H-SiC
 
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Options
2014
Presentation
Title

Defektlumineszenz in 4H-SiC

Title Supplement
Vortrag gehalten beim DGKK-Arbeitskreis "Herstellung und Charakterisierung von massiven Halbleiterkristallen", 8./9. Oktober 2014, Freiberg
Author(s)
Kaminzky, Daniel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Kallinger, Birgit  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Berwian, Patrick  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Friedrich, Jochen  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Oppel, Steffen
Intego Vision Systeme GmbH
Schütz, Michael
Intego Vision Systeme GmbH
Project(s)
SiC-WinS
Funder
Bayerische Forschungsstiftung BFS  
Conference
Deutsche Gesellschaft für Kristallwachstum und Kristallzüchtung, Arbeitskreis Herstellung und Charakterisierung von massiven Halbleiterkristallen (Tagung) 2014  
File(s)
Download (639.35 KB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-386991
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • Photolumineszenz

  • Kristalldefekt

  • Materialcharakterisierung

  • Qualitätssicherung

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