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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Defektlumineszenz in 4H-SiC
 
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2014
Presentation
Title

Defektlumineszenz in 4H-SiC

Title Supplement
Vortrag gehalten beim DGKK-Arbeitskreis "Herstellung und Charakterisierung von massiven Halbleiterkristallen", 8./9. Oktober 2014, Freiberg
Author(s)
Kaminzky, Daniel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Kallinger, Birgit  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Berwian, Patrick  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Friedrich, Jochen  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Oppel, Steffen
Intego Vision Systeme GmbH
Schütz, Michael
Intego Vision Systeme GmbH
Project(s)
SiC-WinS
Funder
Bayerische Forschungsstiftung BFS  
Conference
Deutsche Gesellschaft für Kristallwachstum und Kristallzüchtung, Arbeitskreis Herstellung und Charakterisierung von massiven Halbleiterkristallen (Tagung) 2014  
DOI
10.24406/publica-fhg-386991
File(s)
N-332598.pdf (639.35 KB)
Rights
Under Copyright
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)

  • Photolumineszenz

  • Kristalldefekt

  • Materialcharakterisierung

  • Qualitätssicherung

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