Präzisionsreinigung und Reinigungsvalidierung - Stetig steigende Anforderungen angefangen von der Mikrotechnik bis hin zur Raumfahrt

Bei einer Vielzahl innovativer Produkte spielt die Kontrolle von Kontaminationen eine wesentliche Rolle, angefangen von der Mikroelektronik bis hin zur Raumfahrt. Trotz des Einsatzes angepasster Reinraumtechnik können dabei kritische Kontaminationen in der Massenproduktion nicht völlig ausgeschlossen werden. Daher muss die Reinheit solcher Produkte kontinuierlich überwacht und validiert werden. In der Automobilindustrie wurde zur quantitativen Bestimmung von Partikeln auf Bauteilen hierzu bspw. die Vorgehensweise nach VDA 19 bzw. ISO 16232 etabliert: Die auf der Bauteiloberfläche befindlichen Verunreinigungen werden unter Zuhilfenahme unterschiedlicher Extraktionsverfahren von der Bauteiloberfläche entfernt und auf eine Filtermembran übertragen, welche wiederum mit unterschiedlichen Verfahren, je nach benötigter Information, im Analyseschritt ausgewertet werden kann. Diese Vorgehensweise kann auch auf kontaminationssensitivere Bereiche wie Mikrosystemtechnik, Medizintechnik und Raumfahrttechnik angepasst und übertragen werden. Die Validierung der Reinheit eignet sich auch zur Bewertung von Reinigungsverfahren. Am Beispiel des CO2-Reinigungsverfahrens wird eine Methodik aufgezeigt, die für die Raumfahrttechnik entwickelt wurde, generell aber zur quantitativen Bewertung Präzisionsreinigungsverfahren geeignet ist und damit Reinigungsverfahren miteinander vergleichbar macht.