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2012
Conference Paper
Title
Bewertungsmatrix für unterschiedliche Reinheitsanforderungen im Reinraum
Abstract
- Branchen, Technologien und Reinheitsanforderungen - Motivation - Betrachtete Kontaminationsarten - Partikel, Ausgasung, Reinigbarkeit, Verstoffwechsbarkeit, Mikrobizidität, ESD-Anforderungen - Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von - Betriebsmitteln - Werkstoffen / Materialien - Verbrauchsmaterialien.
Conference