Piezoresistive Miniaturkraftsensoren in LTCC

In dieser Arbeit präsentieren wir die neuesten Entwicklungen von piezoresistiven Miniaturkraftsensoren mit verschiedenen Verformungskörpern in LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) und siebgedruckten Dickschichtwiderständen am Fraunhofer IKTS. Dazu wurden verschiedene Sensorvarianten konzipiert, hergestellt und hinsichtlich ihrer Eigenschaften untersucht. Der Fokus ist bei der Entwicklung besonders auf eine hohe Genauigkeit, eine kosteneffiziente Fertigung durch Miniaturisierung und die Sensorhausung gelegt. Einige wichtige Entwicklungsschritte und Ergebnisse werden hier vorgestellt.