Herstellung magnetischer Sensorelemente in Dickschichttechnologie

Ziel der in dieser Arbeit vorgestellten Untersuchungen war die Herstellung magnetischer Sensorelemente zur Detektion von beispielsweise Drehzahlen und Positionswinkeln. Nach Werkstoffauswahl und -Charakterisierung wurden auf Pulverbasis verdruckbare Pasten hergestellt. Diese wurden mittels Schablonendruck direkt auf Bauteile appliziert, anschließend getrocknet und gesintert. Die magnetischen Strukturen konnten anschließend mittels Hall-Sensoren detektiert werden, wodurch sich Lage oder Drehzahl des Bauteils ermitteln lassen. Durch die Nutzung etablierter Fertigungsverfahren der Dickschichttechnik lassen sich somit kostengünstig zusätzliche Eigenschaften eines Bauteils erzeugen, wodurch beispielsweise Baugruppen durch eine Funktionsintegration eingespart werden können.