Steigerung der Schichtabscheiderate und -qualität durch Optimierung der Gassströmung bei Plasmajet-Quellen

Atmosphärendruck-Plasmajetquellen werden zur Reinigung, Aktivierung oder Beschichtung von Oberflächen angewendet. Vorteile sind die ideale Einbindung in Inline-Prozesse, Möglichkeit der robotergesteuerten Führung, eine profil-, punkt- oder großflächige Behandlung sowie die Nutzung als transportables System. Nachteile entstehen bei komplexen Geometrien und durch hohen Gasverbrauch. Beschriebene Anwendungsgebiete sind Vorbehandlung von Scheinwerfergehäusen, Aktivierung von Polymeren, Beschichtung durch Plasmapolymerisation für den Korrosionsschutz (z.B. für AA 6061), Haftvermittlung, Anti-Haftbeschichtung sowie Vereisungsschutz. Die Forderungen an industrielle Beschichtungsprozesse bestehen in kurzen Prozesszeiten (hohe Beschichtungsraten), gleich bleibende Qualität und niedrige Prozesskosten. An Beispielen wird die Bedeutung der Gasströmung (als Beschichtungsparameter) auf die Schichtqualität, Prozesskosten und Wartung beschrieben, wobei die Untersuchung der Gasdynamik und Precursoreinspeisung noch Forschungsansätze bieten.