Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Materialien, Komponenten und Maschinen

Methoden für die Untersuchung der Reinraumtauglichkeit müssen exakt standardisiert sein, damit eine Vergleichbarkeit gewährleistet ist. Das Equipment Design spielt schon in der frühen Entwicklungsphase eine entscheidende Rolle. Folgende Faktoren sind zu beachten: - Strömungsoptimiertes Design (Simulation und Visualisierung) - Vermeidung von Kontaminationen durch die Verwendung geeigneter Materialien - Sehr geringe Ausgasungen und sehr gute ESD-Eigenschaften - Reinigbare, chemisch resistente und sterilisierbare Oberflächen. Qualifizierung: Endgültiger Nachweis der Reinraumtauglichkeit des Betriebsmittels am Fraunhofer IPA.