Monolithische Integration von Organischen Leuchtdioden und Photodioden auf einem Chip für Sensorikanwendungen
Abstract
Die Integration von organischen Leuchtdioden (OLED) in den CMOS-Prozess als Nach-Prozessierungsschritt bietet im Zusammenwirken mit CMOS-Photodioden zahlreiche Anwendungen für stark miniaturisierte optische Sensor-Aktor-Systeme. Dabei könenn Treiber-Elektronik für die organischen Leuchtdioden sowie Auswerte- und Verstärkerschaltung für die Photodioden integriert realisiert werden, wodurch Kosten für Aufbau- und Verbindungstechnik eingespart werden können und das System sehr kompakt und mit geringen Abmessungen realisiert werden kann. Die Verwendung von hochoffizienten OLEDs mit geringen Betriebsspannungen (3,2V für 1000 Cd/m²) ermöglicht die Integration in beliebige CMOS-Prozesse ohne Hochvolt-Bauelemente. Ausgehend von den notwendigen Prozess-Schritten für die Integration der OLEDs in CMOS-Prozesse werden ein Reflex-Sensor, ein Partikelflusssensor sowie ein bidirektionales Mikrodisplay (integriertes Display + Kamera) als Anwendungen solcher Systeme beschrieben.
